Vorteile dieser
HENZE Bornitrid Lösung
Abschirmrahmen und Abschirmleisten, Target-Rahmen, Schutzrohre, Auskleidungen und Isolatoren aus HeBoSint® Keramik von HENZE bieten Ihnen
- unübertroffene
Thermoschockbeständigkeit - hervorragende Durchschlagsfestigkeit auch bei hohen Temperaturen
- kein Abdampfen störender Begleitelemente
- leichte Reinigung durch mildes Sandstrahlen
- Langlebigkeit
HENZE bietet:
- ein bewährtes Spektrum an HeBoSint®-Bornitrid-Typen für alle PVD-ARC-, Plasma- und CVD-Anlagen
- fachmännische Beratung zum Einsatz von HeBoSint® und HeBoCoat® in PVD- und Plasma-Anlagen
- hochpräzise Fertigung nach Ihren Spezifikationen auf modernsten Maschinen und Anlagen in unserem Kemptener Bearbeitungszentrum - vom Prototypen bis zur Großserie
- 100%ige In-house-Fertigung und
Just-in-time-Lieferung
Bauteile für die zuverlässige Abschirmung und elektrische Isolierung in PVD- und Plasma-Anlagen
Gefordert sind hohe Durchschlagsfestigkeit, gute elektrische Isolation, leichte Reinigung sowie Langlebigkeit der Bauteile
In PVD-Anlagen werden Dünnschichten durch Kondensation eines Materialdampfes auf einem Substrat abgeschieden. Beim ARC-Verfahren wird das Ausgangsmaterial, das sog. Target, durch einen ungeregelten Lichtbogen verdampft. Abschirmelemente aus HeBoSint® sorgen dafür, dass der Lichtbogen nur auf das Target auftrifft und keine Anlagenteile beschädigt. Verlangt werden unterschiedliche Isolationsmaterialien, die auch unter extremen Bedingungen mit hoher Standzeit die elektrische Isolation sicher gewährleisten.
Ein weiteres Problem: Unerwünschte Metallanhaftungen in allen PVD-Anlagen und Plasma-Anlagen.Die Lösungen mit HeBoSint® haben sich als Standard etabliert
Die Bornitrid-Keramik HeBoSint® von Henze sorgt weltweit für die Produktivität, Sicherheit und Langlebigkeit von PVD- und Plasma-Anlagen. Abschirmrahmen und Abschirmleisten aus HeBoSint halten den Lichtbogen zuverlässig in den richtigen Grenzen. Hochtemperaturisolatoren aus HeBoSint® finden sich in nahezu allen PVD-Anlagen, die nach dem ARC-Verfahren arbeiten. Target-Rahmen, Target-Halterungen, Tubes, Schutzrohre und Auskleidungen aus HeBoSint® Bornitrid-Keramik liefert HENZE maßgenau.
Inzwischen werden auch Unterbauten, die bisher aus Mica-Kompositen gefertigt wurden, durch solche aus dem alterungsbeständigeren HeBoSint® ersetzt.
Download: Technical Information Boron Nitride vs. Glass Bonded Mica in PVD.
Beschichtungen aus HeBoCoat® Bornitrid-Flüssigzubereitungen von HENZE ermöglichen das leichte Entfernen von Metallablagerungen in allen Plasma- und PVD-Anlagen.
Sie suchen nach einer technischen Lösung im Bereich PVD- , CVD- und Plasma-Anlagen? Bitte sprechen Sie uns an.
